カロテスト後の膜厚算出方法を実例を交えて紹介します。[計算]

はじめに

この記事ではカロテスト後の薄膜の膜厚の計算方法を紹介します。計算が合わない方や計算方法が分からない方の確認に使っていただければと思います。

使用する計算式

カロテストによって下のような円が得られているとき、

Sを求めたい膜厚として計算式は以下のように近似することが一般的です。

実際に計算してみた

今回は光学顕微鏡でx=950μm, y=50μmもしくはD=1000μm, d=900μmが得られているとします。

カロテストで使用した球がφ30のとき、使用する値は半径のためR＝15(mm)です。この点は間違えやすいので注意が必要です。

15mm= 15×10³μm= 15000μmのため

これらの値を一つ目の近似式に代入すると

二つ目の近似式に代入すると

これによって基材の上の膜厚を測定することができました。

注意点

参考

nanocoat_handbook_No.2, p3カロテスト研磨法

https://www.nanocoat-ts.com/sites/default/files/Nanocoat_Handbook_No2.pdf